• 気体流量を計測し流量制御を行う機器です。
• 自社開発の高感度流速センサ「マイクロフローセンサ」を搭載することにより、0.3secの高速制御性を実現した気体用の流量コントローラです。    
• 対応ガス種類 : 酸素/空気/窒素/アルゴン/二酸化炭素/水素/ヘリウム
• スケール流量 : 1mL - 20L  / min
• 材質 : SUS316
• 適合規格 : CE

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